真空滤油机广泛应用于电厂、电站、电力公司、变电工业、冶金、炼油厂、石油化工、机械、交通、铁路等行业，是处理变压器油、透平油、机油、液压油等油液中的水分、气体和杂质微粒的理想设备。真空泵作为真空滤油机的关键部件，对真空滤油机的运行性能有着非常重要的影响。以下是真空滤油机真空泵常见故障的原因分析，以帮助用户更好地发挥真空滤油机的现场应用。
2、真空泵抽不到的极限真空度:当该故障发生时，应当首先检查真空系统的气密性，看是否有轻微漏气。其次，应当打开气镇，让泵运行30分钟左右，来抽干非泵油污染引起的可压缩蒸汽，排除可压缩蒸汽对极限真空度的影响。
真空滤油机的真空泵进水:如果真空泵进水是由于冷却器积水过多，水被抽到真空泵内处理的油中含水量多，其水蒸汽未能在冷却器中冷却成水而进入真空泵，可通过观察冷却器上的液位计，若水位过高，应及时放掉，应清洗真空泵，更换真空泵油消除这样的情况。